常温大気圧においては化学的に安定度の高い無毒、無臭、無色、不燃性の気体、大気中での寿命は 3,200年。地球温暖化防止排出抑制対象ガスである。1960年代から電気および電子機器の分野で絶縁材などとして広く使用されている化学物質で、人工的な
温室効果ガスとされる。使用量はそれほど多くないが、近年新たな用途開発の進展に伴い需要量が増加している。100年間の
地球温暖化係数は、
二酸化炭素の23,900倍と大きく大気中の寿命が長いため
HFCs、
PFCsと共に、
京都議定書で削減対象の温室効果ガスの1つに指定された。大気への供給源はほぼ全てが人間による物と考えられている。
融点 −50.8±0.2、昇華点 −63.8で、1個の硫黄原子 (S) と6個のフッ素原子 (F) からなる無色無臭の気体。空気を1としたときの比重は 5.106。熱的、化学的に安定で、耐熱性、不燃性、非腐食性に優れ、また高い絶縁性能を有している。